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超輕水蒸餾設備主要利用水和氘化水（重水）沸點的細微差異，通過多次蒸餾實現二者分離。由于氘化水的沸點略高于普通水，在蒸餾時，蒸發的水蒸氣里氘含量相對較低，經反復蒸餾，就能獲取氘含量極低的超輕水。此外，設備還運用特殊半透膜對氘和氫的選擇性透過差異來分離低氘水。當含有氘和氫的水在高壓作用下通過半透膜時，氫分子透過速度更快，從而在膜的另一側得到氘含量相對較低的水。

超輕水設備主要利用水和氘化水（重水）沸點的細微差異，通過多次蒸餾實現二者分離。由于氘化水的沸點略高于普通水，在蒸餾時，蒸發的水蒸氣里氘含量相對較低，經反復蒸餾，就能獲取氘含量極低的超輕水。此外，設備還運用特殊半透膜對氘和氫的選擇性透過差異來分離低氘水。當含有氘和氫的水在高壓作用下通過半透膜時，氫分子透過速度更快，從而在膜的另一側得到氘含量相對較低的水。

精餾設備的功能具有以下幾點：加壓精餾，常壓精餾，減壓精餾，反應精餾，萃取精餾，共沸精餾，單塔連續精餾工藝均可滿足使用。應用于醫藥化工，農藥化工，香精香料，生物醫藥，新材料等化工相關產業。

低氘水精餾設備是一種用于分離氘和氫，從而生產低氘水的設備。 其原理是基于氘和氫的揮發性差異。在精餾塔中，水被加熱變成蒸汽，由于氘和氫形成的水分子（H?O和D?O，D是氘）揮發性不同，蒸汽在塔內上升過程中經過多次部分冷凝和蒸發，輕組分（含氘少的水）和重組分（含氘多的水）逐步分離，最終在塔頂得到低氘水。

EP級精餾塔的工作原理基于液體的沸點差異。混合物被加熱使其中的液體成分蒸發，蒸氣冷卻并凝結，從而得到純度較高的液體。沸點較低的成分會先蒸發，沸點較高的成分則留在液體中。

多功能半導體材料精餾塔通過對工藝及設備條件的核算，進行塔內件的改造、操作條件（如操作溫度、壓力）的修正等，可提高加熱效率，擴大產能、降低能耗。